一种可实现材料图案化的激光加工平台

一种可实现材料图案化的激光加工平台

技术类型 : 专利

专利所属地 :中国

公开号 :CN202223004412.1

技术成熟度 :正在研发

转让方式 :技术转让

交易价格:面议

应用领域 : 合成材料制造

技术领域 :新材料

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成果概况
简介
本实用新型公开一种可实现材料图案化的激光加工平台,包括样品加工运动控制模块,温度控制模块,激光光路系统以及CCD监控观测模块。激光光路系统包括激光器、反射镜、扩束镜、1/2玻片、偏振片、光束提升器、显微分光模块、显微反射照明器、物镜、载物台;温度控制模块通过温控台连接载物台实现样品温度的控制;运动控制模块包括计算机及三轴位移台。工作时,计算机通过控制位移台的移动,使激光束在载物台上样品逐点扫描,实现材料表面图案化。本实用新型结构简单、性能稳定、便于调节、造价便宜,实现材料微米级别的加工。在加工的过程及其后续的处理中,实现了对材料的温度控制;提高了加工的精度,也便于观察不同温度下材料的结构变化。
专利基本信息
专利名称 一种可实现材料图案化的激光加工平台
专利状态 授权 公开号 CN202223004412.1
申请号 - 专利申请日期 2022-11-11
专利授权日期 2023-02-28 专利权届满日 2033-02-28
专利所属地 中国 专利类型 实用新型
发明人 天津科技大学,天津中德应用技术大学
权利人 穆瑞林,仲宴华,陈子坚,马增红
专利摘要 本实用新型公开一种可实现材料图案化的激光加工平台,包括样品加工运动控制模块,温度控制模块,激光光路系统以及CCD监控观测模块。激光光路系统包括激光器、反射镜、扩束镜、1/2玻片、偏振片、光束提升器、显微分光模块、显微反射照明器、物镜、载物台;温度控制模块通过温控台连接载物台实现样品温度的控制;运动控制模块包括计算机及三轴位移台。工作时,计算机通过控制位移台的移动,使激光束在载物台上样品逐点扫描,实现材料表面图案化。本实用新型结构简单、性能稳定、便于调节、造价便宜,实现材料微米级别的加工。在加工的过程及其后续的处理中,实现了对材料的温度控制;提高了加工的精度,也便于观察不同温度下材料的结构变化。