本发明涉及一种结合渣浆处理与裂解反应的氯硅烷高沸物回收工艺。氯硅烷高沸物浆料经渣浆处理装置预处理后回收的物料经过分离后,氯硅烷低聚物进入装有催化剂的裂解反应器与氯化氢反应得到裂解产物,经后续分离而得到单硅烷产品。本发明的结合渣浆处理与裂解反应的氯硅烷高沸物回收工艺具有如下优势：渣浆处理装置能够有效去除物料中含有的金属氯化物等固体杂质,避免裂解催化剂的失活和结焦现象；高沸物分离塔带有侧线采出,能够分离出液相高聚物,避免累积；裂解反应精馏塔同时进行裂解反应和分离过程,可提高裂解率。