一种多层套刻式锥形电极铌酸锂电光调制器及其制备工艺,铌酸锂电光调制器包括从下到上依次设置的衬底、光波导、二氧化硅缓冲层和电极层,电极层包括间隔设置在二氧化硅缓冲层顶部两地电极和设置在两地电极之间的中心电极,所述地电极呈锥形,中心电极呈倒锥形；本申请通过限定地电极与中心电极的形状,采用锥形对应倒锥形的电极结构,提高电极平板相对面积,从而在有限的电极厚度内,将相对面积提高至最大,增大电场作用区达到提高带宽的目的。