金刚石膜表面金属化技术

金刚石膜表面金属化技术

技术类型 : 非专利

技术成熟度 :通过小试

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转让方式 :技术转让

交易价格:面议

应用领域 :专用化学产品制造

技术领域 :纳米及粉末冶金新材料制备技术

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成果概况
简介

在河北省重大攻关项目支持下,开展了金刚石膜表面金属化关键技术的研究,为打破国外技术封锁,加快航天事业发展和国民经济建设具有重要意义。

金刚石膜导热性能是铜的六倍,它是大功率、高集成度、高性能的微电子器件的理想热沉。关键技术:解决金刚石膜钎焊前表面金属化。在保证结合强度的前提下,复合微纳米金属化多层膜的金刚石膜没有明显降低热导率。

采用独特的预处理技术、金属化新体系、自动翻转机械手和低温真空热处理工艺实现了金刚石膜双面金属化。在-78.5℃至 150 ℃耐冷热循环100次,金属化薄膜未脱落,并且结合强度基本保持不变;热阻仅为氮化铝的40.7%;