本发明属于电子级试剂的制备技术领域,涉及亚沸蒸馏装置及其应用。本发明提供的亚沸蒸馏装置,包括罐体、预加热装置和冷凝装置,在罐体内设置有降膜换热器和气体吹扫装置,气体吹扫装置设置在降膜换热器的一侧,用以吹扫降膜换热器内所产生的气相产物；罐体的顶部设置有原料进口,底部设置有余液出口,侧部设置有气相出口；预加热装置与原料进口相连,气相出口与冷凝装置相连,余液出口与预加热装置相连。本发明的亚沸蒸馏装置能够极大的提高蒸发效率,产量大,而且节省时间,能耗低；结构合理,成本低,方便操作,经济效益好,易于推广应用。