本发明涉及反应精馏去除三氯氢硅中甲基二氯硅烷的装置和方法,由四氯化硅预处理装置(A)、含甲基二氯硅烷的三氯氢硅原料预处理装置(B)和反应精馏塔(C)组成。分别经过预处理后的四氯化硅与含甲基二氯硅烷的三氯氢硅原料在反应精馏塔内进行氯原子再分配反应,并通过反应精馏的分离作用,从塔顶采出反应产物三氯氢硅,塔釜采出过量的四氯化硅和生成的甲基三氯硅烷。为了保证甲基二氯硅烷的完全转化,四氯化硅适当过量。本发明流程简单,甲基二氯硅烷转化率高。