技术类型 : 专利
专利所属地 :中国
公开号 :CN202411276061.0
技术成熟度 :正在研发
转让方式 :技术转让
交易价格:面议
应用领域 : 通信设备制造
技术领域 :功能玻璃制备技术
专利名称 | 悬浮波导矩阵薄膜铌酸锂声光调制器 | ||
专利状态 | 其他 | 公开号 | CN202411276061.0 |
申请号 | CN118963009A | 专利申请日期 | 2024-09-12 |
专利授权日期 | 0001-01-01 | 专利权届满日 | - |
专利所属地 | 中国 | 专利类型 | 发明 |
发明人 | 天津科技大学 | ||
权利人 | 张维佳, 李佳琦, 罗雪婷 | ||
专利摘要 | 本发明提供了一种新型悬浮波导矩阵薄膜铌酸锂声光调制器,属于声光调制技术领域,包括由下至上层叠的体铌酸锂衬底和多个悬浮波导层,各悬浮波导层均包括由下至上层叠的体铌酸锂衬底、刻蚀后的二氧化硅缓冲层、铌酸锂薄膜、光波导和叉指电极、刻蚀后二氧化硅缓冲层和电磁屏蔽层,各波导层的所有光波导均对应与其位置相关的二维坐标,所有二维坐标形成波导矩阵,分别记载波导矩阵中各元素所对应的光波导的工作参数,各波导层按照层叠顺序依次制备。本发明能够包含多个可用光波导,可调制多种光波长激光,多波段兼容性:悬浮波导结构可以适用于可见光和红外光等不同波段的光信号调制,因此具有更广泛的应用范围。 |