本项目属于半导体薄膜领域，提出了一种溶胶-凝胶法制备（002）取向的透明导电掺铝氧化锌（AZO）薄膜，这种薄膜光电性能优异。本项目采用下述技术方案：1）将二水乙酸锌溶解在乙二醇甲醚溶剂中,加入一定量的乙醇胺和九水硝酸铝，反应制得AZO前驱体溶胶；2）将前驱体溶胶旋涂于基片上，得到AZO凝胶薄膜，高温处理后重复旋涂多次；3）将薄膜在空气中预处理，然后进行煅烧退火，降至室温后即可得到（002）取向生长的AZO薄膜。该技术路线所制备的AZO粉末具有c轴择优取向，室温电阻率为10-2～10-4 Ω·cm，在可见光范围内平均透光率高于90%。此工艺流程设备简单，成本低，污染小易于实现，而且该方法可以改变材料的晶格结构和晶体缺陷，影响材料的电子结构和禁带宽度，使产品具有更小的能带间隙，从而表现出更好的电学和光学性能。