建立微滤膜-超滤膜-反渗透膜耦合工艺水处理体系，以自来水为原料，搭建超纯水制备系统。

自来水溶解性固体总含量为 300——500mg/L，首先经过微滤膜预处理，后经过超滤膜一级淡化得到一级去离子水，一级去离子水再进入反渗透膜系统，在反渗透膜系统内经过两级淡化，最终得到溶解性固体总含量小于 2 mg/L 的超纯水，应用在原子光谱、高效液相色谱、超纯物质分析、痕量物质等实验中。

该工艺体系操作简单，自动化程度高，出水水质稳定，且投资成本低。