短波激光或等离子体在集成电路制造、特种微纳结构制备、生命医学蛋白检测等领域应用广泛，也是国家集成电路等产业急需的核心技术装备。课题组从激光、等离子体物理出发，研究高次谐波和激光等离子体尾场等次级辐射机制，实现高重频、桌面型极紫外辐射源，应用于高能量密度物理等离子体加工、半导体极紫外光刻、高精度生物蛋白检测。

主要研究方向包括：

•金属材料表面改性技术研究

•干涉光刻法制微纳结构及其应用研究

•纳米结构表面微悬臂梁生物传感器的设计与研究

•城市轨道交通盾构机/TBM隧道挖掘关键技术研究

团队成员：赵静楠，郭志全